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超小型粒子計數器

  • 更新時間:  2020-06-18
  • 產品型號:  3950
  • 簡單描述
  • 3950超小型粒子計數器致輕、致小,完美實現了嵌入組裝在半導體制造等裝置中,2.83L/min,同時測試0.1、0.3μm微小粒子
詳細介紹

日本加野3950超小型粒子計數器
* 顛覆性的技術革新,致輕、致小,完美實現了嵌入組裝在半導體制造等裝置中
* 2.83L/min,同時測試0.1、0.3μm微小粒子
* 4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏
* 可使用附帶軟件在PC上顯示測試數據
* 設有RS-485、Ethernet、USB通訊接口

 

3950加野麥克斯超小型粒子計數器的技術規格

品    名塵埃粒子計數器
型    號3950
粒子測量測試方法光散射法
粒徑通道2粒徑(0.1、0.3μm)
額定流量0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4)
測量時間6秒~99分59秒(1次測量時間)
間隔時間6秒~99分59秒(測量周期)
采樣次數1~999次 或 連續測試
地點設定99個地點
測量方式重復、單次、連續、計算、ISO , GB*(共6種模式)
測量數據顯示時間1~10秒
測量數據顯示累計值∑ 差分值△及柱形圖
max可測濃度10,000,000個/m³
計數效率50±20%(相對于小可測粒徑附近的PSL粒子)
100±10%(相對于小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)
偽 計 數<1個/35min
粒徑分辨率15%以下(相對0.3μm的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)
氣    源內置泵
顯示器4.3英寸彩色液晶 觸摸屏
通迅功能本    體USB(Host用于打印機、USB存儲;Device用于與PC鏈接)
Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud)
數據存儲媒    體內存
數量、格式max10,000個、CSV格式
顯示語言英文、日語
電   源AC100~240V
使用環境本    體15~35℃、0~85%RH (無結露)
外形尺寸W150 X H163 X D228 mm
重    量3.4kg

其他產品介紹:3715-06過濾效率測試臺塵埃粒子計數傳感器
采樣量:2.83L/min(0.1cfm)
6種粒徑同時測試(0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0μm)
max可測濃度可達2,000,000CNT/f t3
內置真空采樣泵及壓力傳感器,保證了傳感器流量(2.83L/min)的一致性、穩定性
具有RS485、Modbus RTU通訊接口,方便與設備及系統集成


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